河南柘城：金剛石砂輪技術(shù)突破 助力芯片發(fā)展 全球短訊

河南新源超硬材料有限公司瞄準(zhǔn)科技前沿，勇?lián)鷷r(shí)代使命，持續(xù)圍繞半導(dǎo)體材料切磨拋領(lǐng)域研發(fā)金剛石特種砂輪，其研制的減薄砂輪可超精密研磨各種半導(dǎo)體材料晶圓，實(shí)現(xiàn)了高端芯片制造晶圓減薄環(huán)節(jié)的國(guó)產(chǎn)化替代，產(chǎn)品性能指標(biāo)達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平。

圖為生產(chǎn)中的晶圓減薄用金剛石特種砂輪 馬學(xué)賢 攝

9月16日，記者在河南新源超硬材料有限公司了解到，該公司成立于1990年，位于商丘市柘城高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)廣州路9號(hào)，是一家以生產(chǎn)切磨拋玻璃、刀具、半導(dǎo)體材料用金剛石工具為主的高新技術(shù)企業(yè)。自2016年開始，企業(yè)持續(xù)把研發(fā)創(chuàng)新和投資重心放在半導(dǎo)體材料切磨拋用金剛石工具領(lǐng)域，并成功研制出晶圓減薄金剛石砂輪。晶圓減薄是指在芯片生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)晶圓厚度減小的工藝步驟，目的是讓其物理特性更優(yōu)，促使下游產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品具備成本低、功耗小、性能強(qiáng)、可靠性高等優(yōu)勢(shì)，也是目前國(guó)產(chǎn)高端芯片解決“卡脖子”難題的重要一步。

河南新源超硬材料有限公司總工程師蘇彥賓告訴記者：“工欲善其事，必先利其器。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈國(guó)產(chǎn)化的進(jìn)程中，相關(guān)工具技術(shù)的國(guó)產(chǎn)化是最關(guān)鍵的一環(huán)。在芯片用半導(dǎo)體材料減薄方面，公司擁有可應(yīng)用于碳化硅、砷化鎵、磷化銦、藍(lán)寶石等晶圓的減薄砂輪。目前已在國(guó)內(nèi)知名客戶實(shí)現(xiàn)了部分產(chǎn)品的國(guó)產(chǎn)化替代，成為目前國(guó)內(nèi)能替代進(jìn)口產(chǎn)品的砂輪生產(chǎn)廠家。”

為解決金剛石特種砂輪的制造難題，企業(yè)持續(xù)加大多元化研發(fā)投入，加強(qiáng)創(chuàng)新型人才的引進(jìn)和培育，以蘇彥賓為技術(shù)帶頭人的科研小組每天泡在實(shí)驗(yàn)基地和生產(chǎn)車間10小時(shí)以上，逐步攻克了微粉磨料質(zhì)量管控、結(jié)合劑粒度細(xì)化、成型料混制均勻性等技術(shù)難題。

“在科技攻關(guān)的過(guò)程中，我們的科研小組遇到了很多意想不到的難題。這對(duì)于整個(gè)國(guó)內(nèi)來(lái)說(shuō)都是前所未有的挑戰(zhàn)，但是科研團(tuán)隊(duì)的干勁十足、激情很大，每天都在反復(fù)進(jìn)行配比和工藝優(yōu)化，下定決心解決國(guó)外“卡脖子”問(wèn)題，一定要把科技的命脈牢牢掌握在我們中國(guó)人手中。”蘇彥賓說(shuō)。

目前，該公司生產(chǎn)的晶圓減薄用金剛石特種砂輪可達(dá)到10納米以內(nèi)的表面粗糙度和較低的表面損傷層，有效滿足下游半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈加工需求，其研磨拋光的芯片產(chǎn)品直供華為等公司，有力助推芯片產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展。

蘇彥賓信心滿滿地說(shuō)：“砂輪作為工業(yè)的牙齒，砂輪產(chǎn)業(yè)強(qiáng)，則工業(yè)強(qiáng)；工業(yè)強(qiáng)，則國(guó)強(qiáng)。我們會(huì)繼續(xù)學(xué)習(xí)新知識(shí)、掌握新本領(lǐng)、鉆研新技術(shù)，用實(shí)際行動(dòng)詮釋精益求精的精神，并在超硬材料砂輪行業(yè)繼續(xù)前行，為我國(guó)新材料和精密加工行業(yè)等民族工業(yè)的發(fā)展貢獻(xiàn)一份力量。”（馬學(xué)賢 宋振豪）